槽式清洗机是一种专门用于批量清洗晶圆和其他工业零件的高效设备。它通过将物品放入装有化学试剂的槽中完全浸没的方式对产品腐蚀/剥离/清洗。
工作原理：主要基于超声波在液体中的空化作用，这种作用产生的冲击波可以深入物体表面的微观凹陷处，实现深层清洁。同时，配合不同的化学试剂，可以有效地去除晶圆表面的化学剂残留、颗粒、金属等杂质。
适用产品尺寸：2~12英寸
适用产品：Si、SiC、氮化镓、陶瓷、氧化镓、砷化镓、LT/LN、蓝宝石、石英、磷化铟等泛半导体材料
处理能力：25~50PCS/槽
药液槽体材质：PPN;PVDF;PTFE;SUS316L;石英
DIW槽;PPN;PVDF;PVC
