主要功能：本设备主要采用机械臂搬运方式，通过对硅片腐蚀、抛动、旋转、溢流漂洗等方式进行处理，从而达到一个用户要求的腐蚀清洗效果。
l 设备名称：晶圆刻蚀机
l 设备型号：R-AWB300
l 制作数量：1台
l 整机尺寸(参考)：1500mm(L)×1500mm(W)×2400mm(H);以最终设计尺寸为准。
安装尺寸：2000mm(L)×2000mm(W)×2600mm(H);
l 产品尺寸：12寸
l 节拍 ：节拍可调根据实际工艺时间而定
l 化学品：HF HNO3 CH3COOH 混合液
l 转移时间 ：酸槽到水槽转移时间少于3秒;
l 设备形式:室内放置型;
l 最大产量：根据工艺确认
l 每批最大处理量：20片;
