产品电气参数
配置规格
外形尺寸： 55W*95D*120H (cm)
产品质量：<200kg
电网环境：380VAC/50Hz，3 相 5线，35A/相
温度范围：-55°C~150°C(水冷式或风冷式) -65°C~150°C(LN2制冷) 200°C(选配)
温度精度： +/-0.1°C (-55°C~150°C) +/-0.8°C (150°C~200°C) 温度分辨率： 0.01°C
测试圈：4英寸/8英寸;工位数：49/98个
制冷机组：法国泰康
制冷方式：MR机械制冷(风冷/水冷)或LN2制冷
盖子高度：10cm(4”标配) 15cm/20cm(6”& 8”选配)
远程接口：RS-232/Ethernet
显示控制： 7”高清电容触摸屏
冷却水RCW：17-25°C软化水 压力：0.3-1MPa 流量：8升/分钟
