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  • 静电卡盘
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    皮拉
    1-1000
    刻蚀耗材
    中国
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商品概述

  产品特点:

  1.通过内置吸附电极将产品固定于静电卡盘,以满足加工需要

  2.通过内置加热器控制产品温度,多温区组合控温,保证加工一致性

  3.使用高纯度原料实现低颗粒污染,抗等离子体侵蚀性强

  4.高精度形状加工,优异的机械强度,尺寸200、300mm(可定制)


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