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产品特点:
1.通过内置吸附电极将产品固定于静电卡盘,以满足加工需要
2.通过内置加热器控制产品温度,多温区组合控温,保证加工一致性
3.使用高纯度原料实现低颗粒污染,抗等离子体侵蚀性强
4.高精度形状加工,优异的机械强度,尺寸200、300mm(可定制)