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[刻蚀] 感应耦合等离子刻蚀 刻蚀代加工
2025-11-07
设备名称：感应耦合等离子刻蚀机(ICP) /英国牛津仪器，用途：刻蚀GaN、Si、AlGaInP、AlGaN、SiO2、Si3N4等材料
