本机适用于2“-8”硅片清洗，整机均采用纯天然聚丙烯(NPP德国进口)材质焊接而成，本体前方安装有防护隔离门，隔离门采用进口透明PVC板制成，前门可以轻松开闭和高度任意限定，在清洗过程中，隔离门关闭，以尽量改善工作环境并减小对人体的伤害.其内部结构组成：加热槽(均采用PVDF材料)、QDR快排冲洗槽、冲洗水枪(PFA)、气枪(PFA)、电气控制、废液排放及排风系统等。工艺过程全自动，机械手在槽间转换靠PLC来控制，美国进口导轨和机械手来满足工艺时序整机耐酸性能好，操作人性化，运行安全可靠，是半导体生产线理想的硅片清洗设备。
